• 品牌：KVC
• 真空等級：控制器
• 量測範圍：1.0E-3 ~ 1500 Torr
• 感測方式：多通道低真空控制器
• 最多 4 通道
• 最多 8 組設定點
• RS232/RS485
• 典型應用：冷凍乾燥、Load Lock、PVD／CVD／ALD 鍍膜、Etch／Clean 製程、乾式真空泵浦系統、超高真空研究、真空爐／熱處理爐、真空腔體
• 高性價比，可替代 Leybold、MKS、INFICON、Edwards、Pfeiffer、Agilent、ULVAC、Canon Anelva 等品牌

SINOM 真空與潔淨室產品型錄

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