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洩漏偵測與耐壓測試：微流體晶片、匣體到工業零組件
洩漏偵測與耐壓測試：微流體晶片、匣體到工業零組件
控制壓力、即時監測，找出晶片與管路能不能「撐得住壓力」。
- 適用產業：微流體晶片與匣體、醫療器材、汽車、航太、油氣、一般製造與研發
- 應用領域：微流體晶片／匣體耐壓與洩漏測試、管路與設備氣密、原型測試
- 推薦產品：Elveflow OB1 微流體壓力／真空流量控制系統、Elveflow MPS 微小體積壓力感應器（small）、Elveflow MPS 微小體積壓力感應器（large）、Elveflow MSR 感測器讀取器、Elveflow MUX WIRE 閥控制器
測試原理
- 在可控制壓力的環境中加壓
- 用高解析度壓力感測器在系統任一點即時量測
- 以回饋控制維持壓力，觀察壓力變化就能判斷是否洩漏或失效
- 氣體與液體都適用
系統組成
- OB1 壓力／流量控制器
- MPS 微流體壓力感測器
- MSR 感測器讀取器
- 選配 MFS 流量感測器提升流量精度
- 選配 2/2 兩通閥，把壓力控制器與待測系統隔離
- Falcon 試劑瓶、Luer lock 入門組、待測晶片（可由 Elveflow 建議）、ESI 軟體與使用手冊
適用場域
- 微流體晶片與匣體測試
- 油氣系統完整性
- 航太壓力耐受驗證
- 汽車燃油洩漏預防
- 醫療器材氣密與防污染
- 工業製造品質與安全
- 研發原型測試與設計缺陷找出
導入效益
- MPS 解析度細、結果重複性佳
- 即時監測壓力並快速調整測試條件
- 可適應不同流體與條件
- 選配閥與流量感測器可擴充
- 已通過工業客戶的嚴苛條件驗證
- 可依需求客製
圖解：壓力保持與洩漏測試配置
OB1 壓力控制器
➔
2/2 隔離閥（選配）
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待測晶片／匣體／管路
➔
MPS 壓力感測器 → MSR 讀取器
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ESI 軟體：回饋與判讀
關鍵規格（選型參考）
| 產品 | 規格 |
|---|---|
| Elveflow OB1 壓力控制器 | 壓力範圍：200 mbar、2,000 mbar、8,000 mbar、-900～1,000 mbar、-900～6,000 mbar 1～4 個獨立通道；反應時間 10 ms 壓力控制精度 0.005–0.015%（依模組與應用條件） 可輸出 ramp、sine、square、triangle 或自訂波形；加購流量計可閉迴路控制流量 可用 C、Python、MATLAB、LabVIEW 或 Elveflow 軟體控制 |
| Elveflow MPS 壓力感測器（small） | 量程 70 mbar、340 mbar、1 bar、2 bar、7 bar 精度 0.2–2% FS；穩定時間 20 ms 內部容積 7.5 µL；接頭 10-32 螺紋附套圈 接液 PEEK、矽、氟矽橡膠密封 |
| Elveflow MPS 壓力感測器（large） | 量程 70 mbar、340 mbar、1 bar、2 bar、7 bar 精度 0.2–2% FS；穩定時間 20 ms 內部容積 70 µL；接頭 3/32" 內徑 接液 聚醚醯亞胺（PEI）、矽、氟矽橡膠密封 |
| Elveflow MSR 感測器讀取器 | 可接 4 個壓力或流量感測器 解析度 11 bits；擷取速率最高 1 kHz 輸入 0–1 V、0–5 V、0–10 V；M8 母座（4 pin） |
| Elveflow MUX Wire | 最多獨立或同時控制 8 個閥 閥切換時間 20 ms 內；內部體積 14 µL；接液 PEEK／FKM 閥型：高壓 6 bar、低壓 3 bar、小流量型；2 通或 3 通；常開或常閉 接頭 1/4-28 UNF |
數值取自子嘉產品頁；實際規格依型號、量程與氣體／液體而定，選型請洽子嘉。
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