• 多種氣體：內置128種校正好的氣體,可自由切換選擇
• 範圍：0.5-5 Sccm , 0-10到20 SLPM , 50-1000 SLPM , 250 SLPM 　　　(0-0.5 Sccm FS ~ 250 SLPM FS)
• 精度：± 0.5% FS , 或 高精度 ± 0.4% 讀值 + 0.2% FS
• 壓力：11.5 – 160 PSIA ( OPTION 320 Psia)
• 暖機: <1秒
• 防爆：Class I , Zone 0 / 耐腐蝕
• S20抗酸液酸氣耐腐蝕壓力傳送器
• 範圍：-0.1 到 0.8 MPa (-1到8bar) 三位數字顯示
• 耐壓：1.5 MPa (15bar)
• 電源/輸出：DC 12-24 , 4-20mA
• 精度：± 0.5% FS
• 接液材質：PFA , PTFE
• 應用：
  (1)130種氣體校正, 可一機使用各種氣體或混合氣體
  (2)CVD, ALD等鍍膜化學品及前驅物的carrier gas
  (3)高階封裝Formic-Acid Vapor 可輸送腐蝕性的vapor
  (4)UHP高純氣體輸送
  (5)校正廠內MFC

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