• 品牌：KVC
• 真空等級：粗真空
• 量測範圍：0.1 ~ 1500 Torr
• 感測方式：電容式薄膜真空計
• 精度 ±0.1% F.S.
• 量測不受氣體種類影響，適用不同氣體
• RS485/MODBUS + 類比輸出
• 典型應用：冷凍乾燥、Load Lock、PVD／CVD／ALD 鍍膜、Etch／Clean 製程、乾式真空泵浦系統、超高真空研究、真空爐／熱處理爐、真空腔體
• 高性價比，可替代 Leybold、MKS、INFICON、Edwards、Pfeiffer、Agilent、ULVAC、Canon Anelva 等品牌

SINOM 真空與潔淨室產品型錄

聯絡我們