• 品牌：KVC
• 真空等級：中真空
• 量測範圍：1.0E-4 ~ 1500 Torr
• 感測方式：MEMS Pirani + Piezo
• MEMS 感測反應快
• 內建顯示 + 2 組繼電器
• Ar/He 氣體量測穩定
• 典型應用：冷凍乾燥、Load Lock、PVD／CVD／ALD 鍍膜、Etch／Clean 製程、乾式真空泵浦系統、超高真空研究、真空爐／熱處理爐、真空腔體
• 高性價比，可替代 Leybold、MKS、INFICON、Edwards、Pfeiffer、Agilent、ULVAC、Canon Anelva 等品牌

SINOM 真空與潔淨室產品型錄

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