• 品牌：KVC
• 真空等級：全量程
• 量測範圍：1.0E-8 ~ 1500 Torr
• 感測方式：Penning + Pirani + Piezo 三合一全量程複合式
• 單機涵蓋大氣到高真空全量程
• MEMS Pirani 感測器可更換
• RS485/MODBUS
• 典型應用：冷凍乾燥、Load Lock、PVD／CVD／ALD 鍍膜、Etch／Clean 製程、乾式真空泵浦系統、超高真空研究、真空爐／熱處理爐、真空腔體
• 高性價比，可替代 Leybold、MKS、INFICON、Edwards、Pfeiffer、Agilent、ULVAC、Canon Anelva 等品牌

SINOM 真空與潔淨室產品型錄

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