- 品牌:KVC
- 真空等級:控制器
- 量測範圍:1.0E-10 ~ 1500 Torr
- 感測方式:多通道離子真空計控制器
- 2 離子 + 2 低真空通道
- 離子真空計自動 ON/OFF
- 大氣至超高真空
- 典型應用:冷凍乾燥、Load Lock、PVD/CVD/ALD 鍍膜、Etch/Clean 製程、乾式真空泵浦系統、超高真空研究、真空爐/熱處理爐、真空腔體
- 高性價比,可替代 Leybold、MKS、INFICON、Edwards、Pfeiffer、Agilent、ULVAC、Canon Anelva 等品牌
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