主要特色

• 原理：MEMS 矽晶片（氮化矽薄膜＋加熱器＋熱電堆）量測氣體熱傳導，適合熱傳導差異大的二成分混合氣
• 量程範例（可設定）：H2 在 N2／空氣 0～100%（最小 0～0.5%，或 98～100%）；H2 在 Ar 最小 0～0.4%；CO2 在 N2 最小 0～3%；He 在 N2 最小 0～0.8%；O2 在 N2 最小 0～15%；另可測 Ar／Xe、Ne／Ar、Kr／Ar、D2、SF6、NO2、R125 滅火氣
• 線性 < 1% 量程；重複性 < 1% 量程；靈敏度 0.01%
• T90 < 1 秒（流量 > 60 l/h）；流量 40～150 l/h（建議 60～80 l/h）
• 零點漂移 < 2% 最小量程／週，或 < 200 ppm／週、< 0.2%／年
• 最大靜壓 10 bar；6 mm 管接頭；暖機約 30 分鐘（小量程 1 小時）
• 選配：內建 3 組二成分量測模式、整合 NDIR／NDUV 消除多成分交叉干擾、燒結不鏽鋼或 PTFE 疏水膜防凝結、耐腐蝕感測器（Al2O3／玻璃／SiO2 鍍膜鉑絲，PTFE／PFA 接頭）、高溫版（最高 180 °C）

SMART 控制平台功能

• 4.3 吋或 7 吋工業彩色觸控螢幕，多國語言選單（英、德、中、法、義、俄）
• 4–20 mA 隔離輸出（最大負載 500 Ω）；警報繼電器（2 A／230 VAC）＋系統警報繼電器
• 通訊：RS485 MODBUS RTU 標準；選配 HART、Foundation Fieldbus、PROFIBUS PA／DP、MODBUS TCP/IP
• 自我診斷（流量監控、感測器與分析儀心跳監控）；內建最多 6,000 筆警報紀錄、即時曲線
• 最多 9 點多點校正；選配定時（自動清洗）、PID、PWM 控制；選配質量流量計／控制器做樣氣流量監控
• 電源 80–264 VAC 或 19–28 VDC
• 外殼：壁掛（4.3 吋，IP65）、壁掛防爆（1.8 吋，Ex d IIC T4）、桌上型（7 吋，IP40）、攜帶型（IP65／IP67）、19 吋機架（1–6 通道，IP40）

典型應用

• 合成氨合成氣 H2
• 加氫裝置 H2 純度
• 電解水製氫（H2 中 O2、O2 中 H2）
• 氫冷發電機 H2／CO2
• 氯鹼製程 Cl2 中 H2
• 空分 Ar
• 純氣生產（N2 中 He、O2 中 Ar）
• 硫酸與磷肥製程 SO2

服務

子嘉企業提供 MZD Analytik 產品選型、報價與技術服務。