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AF1-幫浦/流量控制器
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真空/壓力範圍:0~200mbar, 0~1.6bar, -0.7 ~ 1bar
壓力穩定度:0.05%
解析度:0.006%
反應時間:50ms
選購流量計可作流量控制, 附軟體
可控制壓力/流量波形
(ramp, sine, square, triangle, pulse, sawtooth或自定)
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