XS22真空/中高度真空插入式含氧傳送器

  • 壓力範圍:1.5 x 10-5to 1 x 10-5PA
  • 量測範圍:1 x 10-5to 1 x 10-21PA
  • 管徑:6 mm
  • 管長:140 ~ 300 mm
  • PVD,CVD或其他等電漿技術應用
  • 參考氣體:周圍空氣
  • 精確度:< 5%讀值誤差
  • 接口:KF40法蘭,或其他選購

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