規格

流量測漏原理是控制進入被測件 (DUT) 的壓力並監測微小的洩漏量，當 DUT 在封閉系統內承受恆定壓力時，任何產生的流量都是 DUT 洩漏的測量，所以當儀表產生的壓降（設備引入氣體管線的摩擦阻力）非常微小時，就是最好測量穩定洩漏率的儀器，因為能完全地確保所有流量都被完全測量。Whisper 系列設備的滿量程壓降低至 3.6 mbar (0.052 PSID)，調節壓降低至 0.018 mbar，可實現精確且響應迅速的控制，摩擦阻力最小。

• 量程廣，0.5–100% of FS
• 洩漏量最小解析度：0.0001sccm
• 標準精度±(0.8%RD + 0.2% FS)或±0.75%RD or ±0.1% FS；另可選購高精度±(0.4%RD + 0.2% FS)或±0.6%RD or ±0.1% FS
• 標準數位介面RS-232或RS-485、Modbus RTU series，亦可選購Profibus、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP或Modbus TCP/IP
• 標準類比通訊0-5Vdc或4-20mA、0-10Vdc、1-5Vdc
• 體積/質量流量、壓力、溫度顯示all in one，且具背光功能，亦可選購TFT彩色螢幕