• 設計特點：堅固金屬結構
• 最大壓力：可達1000paig（70bars）
• 流量範圍：0-10SCCM~0-100SLPM可選
• 類比輸出：0-5VDC或者4-20mA
• 洩漏率：小於1×10^-9 SCCM（He）
• 精度：±1%滿量程
• 流量積算器可選
• 溫度係數： 0.1%滿量程/℃
• 壓力係數:0.01%滿量程/psi(0.07bar)
• 推薦氣體壓力：25 psig(1.73bar)
• 最大氣體壓力: 1000 psig(70bar)
• 氣體和周圍溫度:41℉-122℉（5℃-50℃）
• 接液材質：316不銹鋼、銅和維托圓環、氯丁橡膠圓環。
• 方位靈敏度:水準到垂直旋轉低於15度；標準校準是在水準位置
• 輸出信號：線性度0-5VDC,最小1000ohms。負載電阻4-20mA 0-500 ohms回路電阻，最大噪音±20mv
• 連接:AFM/AFC2600和AFM/AFC3600：1/4"卡套螺紋 AFM/AFC4600：3/8"卡套螺紋，可選1/8" 或3/8"卡套螺紋或1/8" VCR®
• 輸入電源：AFM/AFC2600+15±5% VDC，80mA max，1.2 w；-15±5%VDC，200mA max，3w；AFC3600/4600+15±5%VDC，220mA max，2.3w；-15±5%VDC，600mAmax，9w；
• 電路保護：電路板有內置極性保護，可更換保險絲提供電源輸入保護。SDPROC 流量控制模組

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