- 同時輸出數位和類比信號
- 可程式設計流量配置
- 最多可以連接256台設備
- 最多可存儲10種氣體標定資料
- 顯示氣體累計總量
- 氣體流量上下限報警
- 最多可達256種氣體轉換係數
- 自動優化控制
- 自診斷檢測
- 精度:±1.0%滿量程,在標準溫度和壓力下
- 流量範圍:0-10SCCM~0-100SLPM可選
- 標準條件:【14.7psia(101.4kpa),70℉(21.1℃)】
- 重複性:±0.25%滿量程、
- 反應時間:設定點在滿量程的20%-100%時,1.0-2.0秒內達到±2%精度
- 溫度係數:0.05%滿量程/℉或更好
- 壓力係數:0.01%滿量程/psi(0.07bar)或更佳
- 推薦氣體壓力:25psig(1.73bars)
- 最大氣體壓力:1000psig(70bars)
- 最大壓差:DFC26和DFC36:50psig(3.4bars),DFC46:40psig(2.8bars)
- 氣體和周圍溫度:32℉-122℉(0℃-50℃),14℉-122℉(-10℃-50℃),乾燥氣體
- 通訊介面:RS485-標準.RS232-可選
- 輸出信號:線性0-5Vdc,(最小負載電阻2000ohms);0-10Vdc(最小負載電阻4000ohms)4-20mA可選(回路電阻0-500ohms)。最大噪音干擾±20mA峰值
- 回路保護:電路板有內置極性保護電路。保險絲提供電源輸入保護
- 方位靈敏度:水準到垂直旋轉低於15度;標準校準是在水準位置
- 連接:DFC23/36:標準1/4"卡套連接,可選6mm卡套或3/8"卡套或1/4"VCR或1/8"卡套(DFC26)
- DFC46:標準3/8"卡套連接
- 洩漏率:氦氣洩漏率小於1X10^9sml/s
- 感測器輸入電源:+15Vdc,最大450mA
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