經濟型質量流量控制器
質量流量控制器 - 子嘉企業 Sinom|精密量測儀器台灣代理
- 電源供應器:85 至 240 VAC(47 至 440 Hz);120 至 370 Vdc,最大 2A。
- 顯示器:24 x 2 LCD 點陣顯示屏,附背光;24x2 真空螢光顯示器(選購)。
- ADC/DAC 解析度:12 位元 (0.025%)。
- 通訊標準:RS-232 9600 波特率,8 位,兩位停止位,無奇偶校驗 (8,2,N)。
- 可選:乙太網路 TCP/IP。 (HTML 伺服器或 TELNET 控制台)。
- 尺寸:長:19.5 公分 (7.75 吋),寬:17 公分 (6.75 吋),高:11 公分 (4.5 吋)。
- 重量:2 公斤 (4.5 磅)。
- 接口電纜:標配扁平電纜,兩端分別有DB15公及DB15母接頭。
- 單位:%F.S., SLPM, L/s, mL/min, mL/h, SCFM, SCFH, SCMM,
- SCMH, LBPM, LBPH, GRPM, GRPH.
- 支援內外部控制訊號
- 可編程設定控制步驟,最多可96個步驟
- 可設定控制最多四通道氣體來源混氣比例
- 氣體總量積算功能
- 高低流量警報功能及流量條件乾接點輸出
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