Alicat MS 系列為腐蝕性氣體設計的層流壓差式質量流量計，接氣材質耐腐蝕，適用半導體蝕刻、化學製程、水處理氨氣與氯氣加藥等場合。子嘉企業為 Alicat 台灣代理，提供選型、校正與維修服務。

• 量程 0.5 SCCM～12,000 SLPM F.S.
• 內建最多 130 種氣體（含腐蝕性氣體），面板切換免重新校正
• 精度 ±(0.4% 讀值＋0.2% F.S.)；量測範圍 1%～100% F.S.
• 量測反應約 10 ms；同步顯示質量流量、體積流量、壓力與溫度
• 適用 NH₃、Cl₂、HCl、H₂S、SO₂、NF₃ 等腐蝕性製程氣體；316L 不鏽鋼流道、FFKM 等耐蝕密封
• 工作溫度 −10～60 °C；0～100% RH
• 通訊：RS-232（預設）、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、PROFIBUS、PROFINET、IO-Link
• 類比輸出：4–20 mA、0–5 VDC、1–5 VDC、0–10 VDC
• 層流壓差原理，液態氨等液體誤入後可恢復運作，不像熱式感測器容易損壞

相關型號：Alicat MCS 耐腐蝕氣體質量流量控制器、Alicat M 氣體質量流量計

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