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無助焊劑焊接與晶片接合：甲酸蒸氣流量控制
無助焊劑焊接與晶片接合：甲酸蒸氣流量控制
用 Alicat 控制甲酸與氮氣載氣的質量流量，讓還原劑劑量每一批都可重現。
- 適用產業：先進封裝、功率半導體、晶片接合與迴焊製程
- 應用領域：甲酸蒸氣還原（無助焊劑焊接）、氮氣載氣控制、液態甲酸直接注入與氣化
- 推薦產品：Alicat CODA 科里奧質量流量計／控制器、Alicat MC 氣體質量流量控制器、Alicat Whisper 微壓損氣體質量流量控制器、Alicat MB 攜帶式高精度質量流量計
為什麼要用甲酸
- 無助焊劑焊接與晶片接合用還原性氣氛取代化學助焊劑，避免助焊劑殘留
- 先進封裝常見做法，是在氮氣中帶入甲酸蒸氣
- 劑量不足會殘留氧化物、孔洞增加；過量則可能造成錫蒸氣問題，兩種失效都要到後段才看得出來
- 此外甲酸蒸氣會在冷點凝結，輸送路徑中最冷的位置決定了真正進到腔體的量
兩種閉迴路輸送架構
- 一、載氣鼓泡式：氮氣通過控溫的甲酸槽，用一台 MCS 系列控制器設定總流量，濃度由槽溫決定，適合配方固定、已驗證的製程
- 二、計量注入式：CODA 科里奧控制器直接以質量計量液態甲酸，MCS 計量氮氣載氣，兩者進入氣化器，濃度就是兩個質量流量的比值，適合需要隨時改變或要能用數字證明濃度的配方
製程與規格重點
- 文獻中的甲酸蒸氣濃度約 3～15%（氮氣中）
- MCS 系列精度 ±0.4% 讀值＋0.2% 滿量程，控制響應最快 30 ms，內建 128 種氣體；CODA 精度標準 ±0.6% 讀值、高精度選項 ±0.2% 讀值，響應最快 140 ms，量程 40 g/h～300 kg/h
- 接液為 316L 不鏽鋼，密封可選 EPDM 以適應甲酸，並有高溫電子元件選項（氣體 100 °C）
導入效益
- 每次運轉劑量重現性佳、可控制到 1 SLPM 以下
- 液態甲酸以質量計量，輸送濃度能自證
- 接液材質依各機型明列
- 高溫電子元件可放進加熱機殼內，不會變成冷點
- 同一個廠牌即可涵蓋甲酸與氮氣（含形成氣體）的所有路徑
關鍵規格（選型參考）
| 產品 | 規格 |
|---|---|
| Alicat CODA 科里奧 | 子嘉產品頁型號流量範圍 0–100、0–1,000、0–10,000 g/h；量程比 2–100% FS 密度精度 ±5 kg/m³；黏度 0–200 cP 最大操作壓力 4000 PSIA 接液 FKM、316L（可選哈氏合金、全金屬密封）；接頭 1/4" VCR 公頭 |
| Alicat MC 質量流量控制器 | 量程比 0.01–100% FS（MC）、1–100% FS（MCS） 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) 內建 98–130 種氣體（含 32 種腐蝕性氣體） 詢價請提供進、出口操作壓力（決定閥門尺寸） |
| Alicat Whisper 低壓損系列 | 適合接近大氣壓、幾乎沒有系統壓力的管路 最大入口壓力 45 psig 量程比 0.5–100% FS 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) |
| Alicat MB 攜帶式質量流量計 | 攜帶式，內含充電電池，micro-USB 連接電腦 量程比 0.01–100% FS 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) |
| 通訊介面（Alicat 共通） | 數位：RS-232／RS-485、Modbus RTU；可選 PROFIBUS、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP 類比：0–5 Vdc、4–20 mA、0–10 Vdc、1–5 Vdc |
數值取自子嘉產品頁；實際規格依型號、量程與氣體／液體而定，選型請洽子嘉。
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