Alicat SFF 系列採 SEMI 標準外形（124 mm 端到端長度）與高密封流道，可直接替換氣體面板上的 SEMI 規格 MFC，適用薄膜沉積、蝕刻等半導體設備與研發機台。子嘉企業為 Alicat 台灣代理。

• 量程 0.5 SCCM～20 SLPM F.S.
• 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% F.S.)；選配高精度 ±(0.4% 讀值＋0.2% F.S.)
• 反應時間 10 ms；免暖機
• 外部洩漏率 < 1×10⁻⁹ atm·cc/s（氦氣）
• 1/4" VCR 相容公接頭直接加工於流道本體，減少焊接洩漏路徑
• 工作溫度 −10～60 °C；工作壓力最高 200 PSIA
• 通訊：RS-232（預設）、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、PROFIBUS、PROFINET、IO-Link
• 備註：Alicat 儀表適用研發、設備與廠務氣體系統，不屬 UHP 製程認證元件，選型請洽子嘉

相關型號：Alicat MCV 真空氣體質量流量控制器、Alicat MC 氣體質量流量控制器

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