行業應用
Resources
Inchfab 個案：奈米製程設備的氣體流量與背面壓力控制
Inchfab 個案：奈米製程設備的氣體流量與背面壓力控制
小尺寸基板的 ICP-CVD 設備，如何用 Alicat 控制器同時做到流量重現與基板溫控。
- 適用產業：奈米製造設備、研究型晶圓廠、MEMS 與半導體教學研究
- 應用領域：ICP-CVD 製程氣體質量流量控制、基板背面氦氣壓力控制（熱傳導）、真空壓力控制
- 推薦產品：Alicat MC 氣體質量流量控制器、Alicat MCV 真空用質量流量控制器、Alicat IVC 真空計／真空壓力控制器、Alicat PC 數位介面壓力控制閥
個案背景
- Inchfab 打造低成本的製程設備，使用 150～300 mm 的較小基板，降低奈米製造的資本與占地
- 其 ICP-CVD 系統需要嚴格控制質量流量與製程壓力，才能做到批次間的重現性與空間均勻性；同時電漿蝕刻會讓基板發熱，使蝕刻速率下降、光阻遭侵蝕，所以基板與夾盤之間需要一層導熱氣體
解法
- 選用 Alicat 層流差壓式質量流量控制器：響應快、控制範圍寬、不需暖機
- 基板背面則用 IVC 系列整合式真空壓力控制器維持次大氣壓的背面氣壓，提升夾盤與基板之間的熱傳導
關鍵數字
- 流量量測精度 0.6% 讀值
- 響應時間 30 ms
- 控制範圍 0.01～100% 滿量程
- 無暖機時間
- 背面氣壓典型為 5～20 torr（依製程）
- IVC 的真空感測讓夾盤與基板之間的壓力讀值與氣體種類無關
導入效益
- IVC 取代較昂貴的控制器並省去多個控制元件，成本與零件數都下降
- IVC 與 MFC 使用相同數位介面，整合與監控更容易
- 穩定的流量與壓力讓沉積與蝕刻結果更一致、更均勻
關鍵規格（選型參考）
| 產品 | 規格 |
|---|---|
| Alicat MC 質量流量控制器 | 量程比 0.01–100% FS（MC）、1–100% FS（MCS） 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) 內建 98–130 種氣體（含 32 種腐蝕性氣體） 詢價請提供進、出口操作壓力（決定閥門尺寸） |
| Alicat MCV 真空用質量流量控制器 | 內含氣動切斷閥，歸零時避免污染，適合以真空驅動的流量控制 量程比 0.01–100% FS 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) |
| Alicat IVC 真空壓力控制器 | 量程：單感測器 10、100、1000 Torr A；雙感測器 1000＋10 Torr A 精度 ±0.5% FS；量程比 0.1–100% FS 標準接頭 7/16-20 SAE J1926 母，可選 VCR 焊接接頭 |
| Alicat PC 壓力控制器 | 精度 ±0.25% FS，高精度選配 ±0.125% FS 量程比 0.01–100% FS（PC／PCP）、0.5–100% FS（PCR／PCS／PCRS） 耐壓：2 inH₂O–100 PSI 為 3 倍滿量程；500–3000 PSI 為 1.5 倍 腐蝕性介質選 PCS／PCRS 系列 |
| 通訊介面（Alicat 共通） | 數位：RS-232／RS-485、Modbus RTU；可選 PROFIBUS、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP 類比：0–5 Vdc、4–20 mA、0–10 Vdc、1–5 Vdc |
數值取自子嘉產品頁；實際規格依型號、量程與氣體／液體而定，選型請洽子嘉。
推薦產品
Alicat MC 氣體質量流量控制器查看產品 ›Alicat MCV 真空用質量流量控制器查看產品 ›Alicat IVC 真空計／真空壓力控制器查看產品 ›Alicat PC 數位介面壓力控制閥查看產品 ›
選型參考
