Alicat MCT 是可在兩種氣源(兩條流路)之間切換的質量流量控制器,例如製程氣與吹淨氣,一台控制器即可完成切換與流量控制,減少外部閥件與配管。子嘉企業為 Alicat 台灣代理。
- 量程 0.5 SCCM~3,000 SLPM F.S.
- 兩個進氣口,以內建閥切換兩條流路,切換後自動套用該氣體的校正
- 精度:讀值 ±0.6% 或 ±0.1% F.S.(取較大值,依量程)
- 控制反應最快 30 ms;量程比最高 10,000:1(依型號)
- 內建 98~130 種氣體,面板切換
- 通訊:RS-232、RS-485、Modbus RTU/TCP、EtherNet/IP、EtherCAT、PROFINET、IO-Link 等
- 應用:製程氣/吹淨氣切換、雙氣源備援、校正氣與零點氣切換
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