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多種氣體混合配氣：以質量流量控制器精準配比
多種氣體混合配氣：以質量流量控制器精準配比
每種氣體各用一台質量流量控制器，比例由流量設定值決定，要換配方只要改設定。
- 適用產業：焊接與金屬加工、感測器與氣體偵測器製造、半導體與真空製程、學研實驗室
- 應用領域：焊接保護氣配比、感測器校正用標準氣稀釋、真空製程反應氣配比、實驗用混合氣
- 推薦產品：Alicat MC 氣體質量流量控制器、Alicat Whisper 低壓損氣體質量流量控制器、Alicat M 氣體質量流量計
挑戰：鋼瓶混合氣不夠彈性
預混鋼瓶的比例固定，換配方就要換鋼瓶；用浮子流量計手動調配，比例會隨入口壓力與溫度變化而漂移，也很難記錄實際比例。
解決方案：一種氣體一台 MC
- N₂、CO₂、Ar 等氣體各接一台 MC 質量流量控制器，分別獨立控制質量流量，再匯流到混合管
- 混合比例＝各氣體流量設定值的比例，總流量也由設定值決定
MC 內建多種氣體校正，同一台控制器可切換不同氣體使用；改配方只需由面板或電腦修改設定值。
常見配氣應用
| 用途 | 常見氣體組合 | 重點 |
|---|---|---|
| 焊接保護氣 | Ar／CO₂ | 比例穩定，焊道品質一致 |
| 感測器校正 | 標準氣＋N₂ 稀釋 | 以流量比例產生不同濃度 |
| 真空製程 | Ar／O₂／N₂ | 反應氣比例決定膜層成分 |
| 實驗氣氛 | CO₂／N₂／O₂ | 依實驗需求調整氣氛 |
關鍵規格（選型參考）
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| MC 質量流量控制器 | 量程比 0.01–100% FS 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) 內建 98～130 種氣體校正（含 32 種腐蝕性氣體），可自訂 20 組混合氣（每組最多 5 種） |
| Whisper 低壓損系列 | 適合接近大氣壓、幾乎沒有系統壓力的管路 最大入口壓力 45 psig 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) |
| 通訊介面 | 數位：RS-232／RS-485、Modbus RTU（可選 EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、DeviceNet、Modbus TCP/IP） 類比：0–5 Vdc、4–20 mA 等 |
導入效益
- 配方隨時可改，不必等鋼瓶
- 比例由質量流量決定，不受入口壓力與溫度變化影響
- 每台控制器都可輸出實際流量，配比可記錄、可追溯
- 從兩種氣體到多種氣體都能擴充
選型提醒
- 依各氣體的最大流量與最小比例決定每台控制器的量程（小比例氣體選小量程，精度較好）
- 入口壓力不高或需要低壓損時，可選 Whisper 低壓損控制器
- 混合後若需確認總流量，可加一台 M 系列質量流量計