• 流量範圍：0 to 100SCCM到, 0 to 50SLPM
• 量程比：50:1
• 精度：±(2.5 +0.5 F.S.) %
• 反應時間：10 msec
• 電源供應：8-24 Vdc, 50 mA
• 輸出：線性類比0.5 – 4.5 Vdc；可選購RS232或RS485
• 四位數顯示
• 單位：瞬時流量–SLPM；流量累計–SL
• 解析度： 0.001, 0.01, 0.1, 1可選
• 壓損： 100Pa
• 耐壓：0.5MPa
• 工作溫度：-20 ~ +65℃
• 接頭： NPTF 1/8”
• 電器接頭：5 Pins, NS-TECH CD R-5

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