Alicat MCS 系列是耐腐蝕型層流壓差質量流量控制器，內建比例電磁閥，可精準控制 NH₃、Cl₂、HCl 等腐蝕性氣體，常用於半導體蝕刻與封裝、甲酸焊接載氣與水處理加藥。子嘉企業為 Alicat 台灣代理。

• 量程 0.5 SCCM～12,000 SLPM F.S.
• 內建最多 130 種氣體（含腐蝕性氣體），面板切換
• 精度 ±(0.4% 讀值＋0.2% F.S.)；控制範圍 1%～100% F.S.
• 控制反應最快 30 ms，免暖機
• 316L 不鏽鋼流道、FFKM 密封；高溫選配：氣體 100 °C、環境 85 °C
• 工作溫度 −10～60 °C；0～100% RH
• 通訊：RS-232（預設）、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、PROFIBUS、PROFINET、IO-Link；類比 4–20 mA、0–5 VDC、1–5 VDC、0–10 VDC
• 另有 MCDS（雙向耐腐蝕）版本

相關型號：Alicat MS 耐腐蝕氣體質量流量計、Alicat CODA 科里奧質量流量計／控制器

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