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半導體氣體面板出貨驗證：流量與壓力基準平台
半導體氣體面板出貨驗證：流量與壓力基準平台
用 Alicat M 系列流量計與 P 系列壓力計，替氣體面板與 MFC 出貨驗證建立可追溯的基準。
- 適用產業：半導體設備、氣體面板與 MFC 製造、校正與品保實驗室
- 應用領域：出貨前逐通道流量驗證、流量式洩漏測試、壓降式洩漏測試、壓力基準
- 推薦產品：Alicat M 氣體質量流量計、Alicat MQ 高壓質量流量計、Alicat MC 氣體質量流量控制器、Alicat P 系列壓力數位介面傳送器、Alicat Whisper 洩漏測試
基準必須比被測物更準
- 氣體面板與質量流量控制器（MFC）出貨前，要逐通道對照可信的基準
- 許多裝置的流量橫跨好幾個數量級，如果基準只靠「滿量程誤差」，在低流量時誤差佔讀值的比例會迅速放大，結果可能是邊緣不良的面板被放行，或良品被誤判而重工
解法：依流量分段的「基準階梯」
- 每個流量區段配一台基準流量計，讓所有讀值都落在「讀值百分比」精度區間
- 以 M 系列高精度選項（10 SCCM～20 SLPM）為例，精度為 ±0.5% 讀值或 ±0.1% 滿量程（取大者），約在 10% 滿量程以上就能維持 1% 讀值；重複性為 ±(0.1% 讀值＋0.02% 滿量程)，內建 98 種氣體資料庫
一個平台完成流量與洩漏測試
- M 系列負責流量基準與流量式洩漏測試
- P 系列壓力計（高精度 ±0.125% 滿量程，量程 0.07～3000 PSI）負責壓降式洩漏測試
- 需要設定流量的測試台再搭配 MC 系列控制器
- 基準只接觸氮氣、乾燥空氣或氦氣等替代氣體
- 不必使用超高純或耐腐蝕規格，成本更合理
導入效益
- 驗證結果有數據支撐、可追溯
- 依測試線規劃流量階梯，不必用一台儀表涵蓋所有量級
- 流量、洩漏、壓力使用同一介面與校正體系，整合與維護更簡單
- 並可同步記錄壓力與溫度，留下每次驗證的條件
關鍵規格（選型參考）
| 產品 | 規格 |
|---|---|
| Alicat M 質量流量計 | 量程比 0.01–100% FS 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) 內建 98–130 種氣體（含 32 種腐蝕性氣體），可自訂混合氣 同時顯示質量流量、體積流量、壓力與溫度 免暖機、免直管段 |
| Alicat MQ 高壓質量流量計 | 耐壓至 320 psia 量程比 0.1–100% FS（中流量）、0.5–100% FS（大流量） 精度 ±0.6% 讀值或 ±0.1% FS（中流量）、±2% FS（大流量） |
| Alicat MC 質量流量控制器 | 量程比 0.01–100% FS（MC）、1–100% FS（MCS） 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) 內建 98–130 種氣體（含 32 種腐蝕性氣體） 詢價請提供進、出口操作壓力（決定閥門尺寸） |
| Alicat P 壓力傳送器 | 精度 ±0.25% FS，高精度選配 ±0.125% FS 量程比 0.5–100% FS；耐壓 3 倍滿量程 標準接頭 1/8" NPT 母（可轉 VCR、SAE、BSPP） 腐蝕性氣體或液體選 PS 系列 |
| Alicat Whisper 洩漏測試 | 滿量程壓降低至 3.6 mbar（0.052 PSID） 洩漏量最小解析度 0.0001 sccm 量程比 0.5–100% FS |
| 通訊介面（Alicat 共通） | 數位：RS-232／RS-485、Modbus RTU；可選 PROFIBUS、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP 類比：0–5 Vdc、4–20 mA、0–10 Vdc、1–5 Vdc |
數值取自子嘉產品頁；實際規格依型號、量程與氣體／液體而定，選型請洽子嘉。
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