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流量式洩漏測試：閥門、接頭與容器的快速測漏
流量式洩漏測試：閥門、接頭與容器的快速測漏
壓力穩定後，補進待測件的氣體流量就等於洩漏率，直接讀數，不必換算。
- 適用產業：閥門與管件製造、半導體設備與氣體系統、汽車零組件、醫療器材、包裝容器
- 應用領域：閥門、接頭、容器與氣體管路的洩漏測試，出貨檢驗與製程抽檢
- 推薦產品：Alicat PC 數位介面壓力控制閥、Alicat Whisper 低壓損氣體質量流量計、Alicat M 氣體質量流量計、Alicat Whisper 低壓損流量式洩漏測試
挑戰：壓降法要換算，小容積又難測
傳統壓降（壓力衰減）測試要先加壓、再等待壓力下降，最後依容積換算洩漏率；待測件容積越大，等待時間越長，溫度變化也會造成誤判。
解決方案：控壓＋量流量
- 以 PC 壓力控制器將待測件加壓到設定的測試壓力，並持續維持；串接在前的 M 或 Whisper 質量流量計量測補進的氣體流量
- 壓力穩定後，補充流量就等於洩漏率，可測到 0.001 SCCM 等級
測試氣體可用乾燥空氣或氮氣；Whisper 低壓損流量計適合小容積、低壓的待測件。
壓降法與流量法比較
| 項目 | 壓降法 | 流量法 |
|---|---|---|
| 讀到的數值 | 壓力變化，需換算 | 直接讀出洩漏率 |
| 容積影響 | 容積越大越慢 | 影響較小 |
| 結果記錄 | 需另外計算 | 數位輸出可直接記錄 |
| 適合情境 | 簡易判定 | 需要量化洩漏率的檢驗 |
關鍵規格（選型參考）
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| PC 壓力控制器 | 精度 ±0.25% FS，高精度選配 ±0.125% FS 量程比 0.01–100% FS（PC／PCP） |
| M 質量流量計 | 量程比 0.01–100% FS 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) 同時顯示質量流量、體積流量、壓力與溫度 可選流量累計（TOT） 免暖機、免直管段 |
| Whisper 低壓損系列 | 適合接近大氣壓、幾乎沒有系統壓力的管路 最大入口壓力 45 psig 精度 ±(0.8% 讀值＋0.2% FS)，高精度選配 ±(0.4% 讀值＋0.2% FS) |
導入效益
- 測試時間縮短
- 洩漏率直接以 SCCM 讀出，判定標準清楚
- 數位介面可接 PLC 或測試軟體，自動判定良品與不良品
- 同一套設備可依產品切換測試壓力
選型提醒
- 請提供測試壓力、可接受的洩漏率上限與待測件容積；洩漏率越小，選擇越小量程的流量計
- 若需要整套測漏儀，可參考 Whisper 低壓損流量式洩漏測試
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