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半導體與電子製程微量送液｜HNPM mzr® 微環形齒輪泵
半導體與電子製程微量送液｜HNPM mzr® 微環形齒輪泵
半導體與電子製程常要把少量、昂貴或敏感的液體送得又準又穩。HNPM mzr® 微環形齒輪泵是正排量泵，流量從每分鐘數微升到數百毫升，脈動低、可回吸防滴，泵體小，容易整合進設備。以下是常見的幾種應用。
- 應用領域：晶圓光阻供膠（塗佈顯影設備）、AI 晶片液冷：低沸點氟化液超低流量輸送、精密光學 UV 膠點膠、硬碟流體動壓軸承（FDB）注油、精密塗佈與表面處理（狹縫塗佈、噴塗、捲對捲）
- 推薦產品：HNPM 高效能系列幫浦 mzr-2505～mzr-11508、HNPM mzr-Touch Control 觸控式幫浦控制器、HNPM 磁封系列幫浦 mzr-2965／4665／7265、HNPM µDispense 微量分注模組／LiquiDoS 實驗室計量系統、HNPM 過濾-泵功能模組 F-P／F-P-V、HNPM 密封耐腐蝕系列幫浦 mzr-6355／7255／11558、HNPM 高效能系列擴充模組
1. 晶圓光阻供膠（塗佈顯影設備）
挑戰
- 塗佈機要靠精準供膠控制膜厚與均勻性。
- 傳統泵處理高黏度或微量液體時精度不足，容易滴漏或供膠不足。
解決方案
- mzr® 泵穩定輸送光阻與丙酮。
- 搭配可程式控制器設定供膠量與速度。
- 利用回吸功能做到不滴膠。
效益
- 膜厚均勻、良率提升。
- 適用黏度範圍寬、耐腐蝕。
- 泵體小，設備設計更有彈性。
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2. AI 晶片液冷：低沸點氟化液超低流量輸送
挑戰
- R1233zd 等低 GWP 冷媒沸點約 18 °C。
- 在 0.6 ml/min 的持續超低流量下，泵要同時做到零洩漏、無脈動，並可承受兩相流造成的壓力波動。
解決方案
- 磁封系列 mzr-2965 使用磁耦合無軸封馬達，沒有動態軸封，杜絕冷媒外洩並阻隔濕氣。
- 環形齒輪送出連續平穩液流。
- 壓差能力最高 3 bar，可應付晶片表面局部沸騰造成的背壓。
- 內建運動控制器可依 CPU／GPU 熱負載以微升級調整流量。
效益
- 全密封零洩漏、穩定冷卻膜。
- 流量可隨熱負載調整。
- 適合資料中心、HPC 與直接晶片冷卻研發。
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3. 精密光學 UV 膠點膠
挑戰
- 光學元件黏合，膠量過多會殘留，過少則黏不牢。
解決方案
- mzr-2505 輸送透明 UV 固化膠，每次 0.5–10 µl、約 1.2 秒完成，膠黏度約 300 mPas。
- mzr-2505 流量範圍 0.0015–9 ml/min。
效益
- 定量精準、不帶入氣泡、適合黏稠液體。
- 可依液體調整輸送參數，控制器整合容易。
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4. 硬碟流體動壓軸承（FDB）注油
挑戰
- FDB 馬達用油膜取代滾珠，每顆軸承的注油量必須精準且可重複。
- 必須在潔淨室生產。
解決方案
- 使用磁封系列 mzr-2965（M2.1 歧管）把微量潤滑油直接注入軸承儲油結構。
- 內建可程式控制與回吸功能。
效益
- 定量精準、重複性高、容易整合進自動化設備。
- 同樣做法也適用精密馬達與其他微量注油製程。
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5. 精密塗佈與表面處理（狹縫塗佈、噴塗、捲對捲）
挑戰
- 功能層沉積、表面改質與定向塗佈，需要低黏度液體的高精度、低脈動計量，流量可低到 0.125 ml/min。
- 液體常有腐蝕性或反應性。
解決方案
- mzr® 泵直接整合到塗佈頭前端，流量可隨線速度調整。
- 例如焊線表面潤滑塗層，用 mzr-2965 依送線速度精準塗布微量潤滑劑。
效益
- 塗層厚度均勻、減少材料浪費。
- 耐化學、維護少、適用潔淨室。
- 可用於有機電子、新能源電池、醫療器材。